複合型正圧式 防爆ガスキャビネット シラン&エチレン 防爆ガスキャビネット

製品概要

Afklok カスタム複合正圧キャビネットには、正圧保護、本質安全回路、耐圧防爆エンクロージャという 3 つのコア防爆技術が統合されています。可燃性および危険なプロセスガス用に特別に開発された総合的な防爆ガス供給システムです。
先進のコンパクト構造、直感的なビジュアル操作、全自動安全インターロック機能を備えたこのキャビネットは、半導体および化学産業の厳しい防爆規格に完全に準拠しています。 IIA ～ IIC グレード、T1 ～ T4 の爆発性ガス混合物が存在する場所 (ゾーン 1、ゾーン 2) および可燃性粉塵の危険場所 (ゾーン 21、ゾーン 22) に適用されます。シラン、エチレン、窒素などの自然発火性、可燃性、窒息性の特殊ガスを安全に供給および制御できるように設計されています。

半導体プロセス規格に準拠した高純度カスタムガス回路
内部ガス回路はBA/EPグレード316Lステンレス鋼高純度パイプラインを採用し、SiH4シラン、C2H4エチレン、N2窒素の独立したガス回路管理をサポートします。精密圧力レギュレーター、ダイヤフラムバルブ、圧力計、窒素真空パージループと組み合わせます。透明な観察窓により、パイプラインの動作状況をリアルタイムで視覚的に検査でき、日常点検、漏れテスト、ガス切り替え操作に便利です。
内部ガスループは、半導体業界標準を満たす BA/EP グレード 316L ステンレス鋼高純度チューブで構築されており、SiH4 シラン、C2H4 エチレン、N2 窒素などの複数のプロセスガスの独立した制御をサポートします。適合するアクセサリには、高精度圧力レギュレータ、高純度ダイヤフラム バルブ、圧力計、窒素真空パージ ループなどがあります。前面の透明な観察窓により、パイプラインの状態をリアルタイムで視覚的に検査できるため、日常のパトロール、漏れテスト、ガス切り替え操作が容易になります。汚染ゼロにより、安定した超高純度プロセスガスの供給が保証されます。

完全にカスタマイズされたソリューション、工業生産シナリオを幅広くカバー
ガス流路量、ガス種類、キャビネットサイズ、防爆グレード、信号出力機能など、お客様のプロセスのご要望に応じたフルカスタマイズをサポートします。キャビネットは工場の中央制御システムに接続して、遠隔警報と緊急遮断を実現できます。半導体ウェーハ製造、太陽電池製造、LCD/OLED ディスプレイ、ファインケミカル、新材料実験室、リチウム電池製造の危険作業場に広く応用されています。
調整可能なガス回路量、適合するガスの種類、キャビネットの寸法、防爆グレード、リモート信号出力機能など、生産ラインの要件に基づいてフルカスタマイズサービスが利用可能です。キャビネットは工場の中央制御システムにリンクして、遠隔警報や緊急ガス遮断をサポートできます。この製品は、半導体ウェーハ工場、太陽電池生産ライン、LCD/OLED パネル作業場、ファインケミカル工場の特殊ガス供給室、新材料研究のための高リスク研究所、リチウム電池製造施設などの危険区域に広く導入されています。

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