半導体光伏電子機器で一般的に使用される特殊ガス機器

製品説明:
特殊ガス輸送キャビネットは,燃やし,爆発性,腐食性,有毒性および他の危険なガス供給と供給システムの供給のために設計されています,カテゴリーによると,以下に分けることができます:全自動基本機能には,自動吹き,自動吹き,自動吹き,自動吹き,自動吹き,自動吹き,自動吹き,自動吹き,自動吹きなどがあります. automatic switching and automatic safety cut-off in case of emergency (when the set alarm signal is triggered) The fully automatic gas cabinet realizes the safe and effective operation of the equipment by adopting the PLC control and touch screen as the man-machine interface装置に設置された圧力センサー,気圧弁,過剰流量計などによって装置の安全で効果的な操作にプログラムされた内部PLCは,炎症性などの危険なガスを供給するように設計されています.爆発性 腐食性 毒性 Its internal PLC programmed safety interlock function and the reasonable selection and layout of high purity valves not only satisfy the requirements of continuous supply of special gases and high purity in the production process of semiconductor process工場の正常な生産と 従業員の安全も保証します

ガス: SiH4,NF3,NH3,N2O,HCIなど,燃やす気質,腐食性,毒性のあるガス

特徴:

客の状況の特殊な設計に応じて,以下の安全装置がガスキャビネットに組み込まれる:
1 ガスキャビネットには自動閉じるドアがあり,機械的なロックがあります.
2 ガスキャビネットは,ガスキャビネット内のガスと反応しない限り,スプリングラーヘッドを装備しなければならない.
3 障害や停止のアラームは,音声と視覚的なアラームとコントローラ画面の表示によって操作者に警告します.シャットダウンアラームは,気圧弁を閉じて,コントローラプログラムを終了します..
4 オーバーフロースイッチを設置し,ガス下流の過度のガス流量の場合,操作者に警報する.
5 排気気モニタが設置され,キャビネットが十分に換気されているかどうかを監視する.
⑥ A diaphragm coupled pressure reducing valve is selected to automatically close the pressure reducing valve if the gas downstream pressure is higher than the pressure reducing valve set pressure because the diaphragm of the pressure reducing valve is mechanically coupled to the valve stem圧縮弁の座席が損傷,腐食または汚染された場合,漏れることがあります.
⑦ A flow-restricting orifice fitting installed in the cylinder valve or cylinder connector greatly reduces the increase in gas flow caused when downstream equipment fails (supplied by the gas supplier).
8 自発燃焼ガスシステムでは,UV/赤外線検出器が必要です.
9 燃やす気体システムでは,温度スイッチが必要です.
10 シャットダウンアラームが発生すると,手動操作は無効にします.
緊急停止ボタンは制御パネルにあります.

技術パラメータ:

応用:

適用される産業:半導体,TFT,太陽光発電,LEDなど.

FAQ:

Q: 特殊ガスキャビネットとは?
特殊ガスキャビネットは,通常半導体,光伏,電子などの産業で使用される特殊ガスを貯蔵および配送するための機器の一種です.ガス品質と供給安定性を確保するために,安全に管理し,正確に制御することができます.

Q: 特別なガスキャビネットはどんな種類ですか?
主に手動,半自動,全自動の特殊ガスキャビネットがあります.
 

Q: 特殊ガスキャビネットの設置に注意を払うべきことは?
設置場所は,火源のない,よく換気された乾燥した場所で選択する必要があります.
装置の安定性を確保し,傾きや揺れを避ける.
接続パイプは,要求事項を満たす材料で作られ,しっかりと接続され,漏れがないことを確認する必要があります.

Q: 特別ガスキャビネットを正しく使うには?
使用前に,機器の動作と操作方法を理解するために,機器の操作説明書を注意深く読む必要があります.
誤った操作を避けるために,指定された操作手順に従ってガス輸送と制御を行う.
設備の正常な動作を確保するために,定期的に機器をチェックし,維持します.

Q: 特殊ガスキャビネットの安全操作をどのように保証しますか?
ガスの漏れを検知する装置を設置し,間に合った対策を講じます.
操作員を訓練し,安全意識と操作能力を向上させる.
設備の安全性能を確保するための定期的な安全検査と保守

Q: 特殊ガスキャビネットにはどんなメンテナンスが必要ですか?
漏れがないように 装置の密封を定期的にチェックしてください.
設備 の 表面 を 清掃 し て きれいに し て 衛生 的 に 保つ.
バルブ,パイプ,その他の部品の磨きをチェックし,損傷した部品を間に合うように交換してください.

Q: 特殊ガスキャビネットのメンテナンスサイクルは?
設備の使用頻度と環境条件による保守サイクル,全体的な保守のために通常6ヶ月から1年ごとに推奨されます.

Q: ガスキャビネットが故障したらどうすればいいですか?
まず 装置の使用を止め ガスの供給を切断します
欠陥現象をチェックし 欠陥の原因を決定する.
障害の原因に応じて,損傷した部品を交換したり,電気障害を修復したりなど,適切なトラブルシューティング対策を講じます.