超高純度ガス供給システムの主要プロバイダーである深セン Wofly Technology Co., Ltd. (WOFLY) は、専用のシラン バルブ マニホールド ボックス (VMB) を正式に発売しました。危険な特殊ガスの供給用に特別に設計されたこの新しいシステムは、半導体、太陽光発電、およびオプトエレクトロニクス産業におけるミッションクリティカルなプロセスの安全性と精度の二重の保証を提供します。
シラン (SiH₄) は現代のエレクトロニクス製造の基礎ですが、発火性と爆発性があるため、極度の危険性があります。 WOFLY の新しい VMB シリーズは、構造革新とインテリジェントな安全制御の組み合わせを通じてこれらの課題に対処します。
高度な分散と独立した制御
WOFLY VMB は、単一の上流ガス ソースを複数の独立した分配ブランチに分割し、複数のプロセス ツールに同時にガスを供給するように設計されています。各ブランチには独立した遮断バルブと圧力監視ユニットが備わっており、他の生産ラインの稼働を中断することなく、個別のメンテナンスやトラブルシューティングが可能です。
主要な安全機能と優れた技術
1. 不活性パージおよび置換システム
高純度窒素 (PN2) パージおよび真空ラインを内蔵しています。これにより、空気接触による自然発火を防ぐための安全基準に厳密に従って、メンテナンスや装置交換の前に残留シランを徹底的に除去することが保証されます。
2. リアルタイム監視とインターロックアラーム
統合された高精度圧力センサーと圧力計はミリ秒レベルの応答を提供します。このシステムは空気圧緊急遮断弁と施設制御センターにリンクされており、圧力異常や漏れが検出された場合には即座に隔離を開始します。
3. 負圧エンクロージャ
完全に密閉された 316L ステンレス鋼キャビネットは安定した負圧を維持します。微量の漏れは閉じ込められ、集中排気システムを通じて除害ユニットに安全に抽出され、作業場環境へのリスクが排除されます。
4. 電子グレードの純度
すべての接液コンポーネントは SS316L EP (電解研磨) グレードのステンレス鋼で作られています。このシステムは自動軌道溶接を利用して、ヘリウム漏れ率が 1×10-9 atm・cc/s 以下のクリーンで粒子のない環境を確保し、高純度ガスの完全性を維持します。
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幅広い産業用途
WOFLY Silane VMB の多用途性と堅牢な設計により、以下の標準構成になります。
- 半導体ウェーハ製造工場:PECVD、LPCVD、ALD などの薄膜堆積プロセスに不可欠です。
- 太陽電池の製造:シリコンベースの膜堆積用の TOPCon や HJT などの高効率セルラインで広く使用されています。
- 高度なディスプレイ製造:TFT-LCD、AMOLED、ミニ/マイクロ LED の製造をサポートします。
- 研究と研究所:材料の研究開発やプロセス検証のための小規模で正確な配布を提供します。
「特殊ガスの取り扱いにおいて、安全性と純度は交渉の余地がありません」と WOFLY のテクニカル ディレクターは述べています。 「当社の新しい Silane VMB は単なる配電ボックスではなく、お客様が絶対的な自信を持って生産を拡大できるようにする包括的な安全シールドです。」
Silane VMB の詳細、または当社の全範囲のガス処理ソリューションについては、次の Web サイトをご覧ください。www.szwofly.comまたはinfo@szwofly.comまでご連絡ください。
WOFLYについて
Shenzhen Wofly Technology Co., Ltd. (AFK/WOFLY) は、高純度ガス供給システムに重点を置いた専門メーカーおよびエンジニアリング会社です。 WOFLY は 10 年以上の専門知識を活かし、高精度レギュレーター、VMB、ガスキャビネット、統合配管ソリューションを世界のハイテク産業に提供しています。
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