Wofly Technology VMB シラン用途バルブマニホールド分配ボックス

VMB バルブアセンブリ分配ボックス（シラン用）

高リスク特殊ガスの分配における安全性と精度の二重保証

01 コア機能

単一ソース・マルチパス分配、独立した分岐制御

本装置は、上流の特殊ガスキャビネットからの単一シランガス供給を複数の独立した供給分岐に分割し、同時に複数のプロセスユニットにガスを供給できます。また、必要に応じた分岐のカスタマイズにも対応しています。各分岐には独立したオン/オフバルブと圧力監視ユニットが装備されており、ガスの流れとメンテナンスのためのシャットダウンを個別に制御できます。単一分岐のメンテナンスは、他の分岐への通常のガス供給に影響を与えず、生産ラインのダウンタイムのリスクを最小限に抑えます。

運用安全を確保するための不活性パージと真空置換

本システムには、高純度窒素（PN₂）パージラインと真空引き出しラインが内蔵されています。分岐メンテナンス、装置の起動またはシャットダウン、配管の分解および再組み立ての前に、対象の配管に対して全工程の不活性ガスパージと真空置換を実行できます。これにより、ライン内の残留シランガスを徹底的にパージし、バルブを開いた後にシランが空気に接触して自然発火するのを防ぎます。これは、特殊ガスシステムのエンジニアリング技術基準に概説されているシランシステムの安全運用要件に完全に準拠しています。

316LEPグレードステンレス鋼配管

リアルタイム圧力監視と異常条件インターロックアラート

各分岐ラインには高精度圧力計と圧力センサーが装備されており、入口と出口のリアルタイム圧力状態を表示し、上限および下限圧力アラームの設定をサポートします。空気圧式緊急遮断バルブと組み合わせることで、異常な圧力やガス漏れなどのリスクを検出すると、対応する分岐ライン、あるいは主ガス供給を迅速に遮断できます。可聴および視覚アラームをトリガーし、プラントの中央制御システムと統合して、ミリ秒レベルの緊急対応を実現します。

負圧密閉保護、集中漏洩制御

本システムは、完全に密閉されたキャビネット構造を採用しており、上部に排気口、下部に吸気グリルを備え、運転中にキャビネット内の安定した負圧を維持します。微量の漏れが発生した場合でも、シランガスはキャビネット内に閉じ込められ、排気システムを通じて排気ガス処理ユニットに集中して抽出されます。これにより、漏洩ガスが生産ワークショップに拡散するのを防ぎ、空間レベルでの自然発火と中毒のリスクを排除します。

02 コア機能

高リスクガス専用の安全設計

シランの自己発火性および爆発性を特別に最適化した本システムには、内蔵のシランガス検知器および炎検知装置を装備できます。すべての電気部品は防爆仕様を満たしており、多層安全インターロック機構は高リスク特殊ガスの制御基準に完全に準拠しており、標準的な不活性ガスVMBの安全レベルをはるかに超えています。

エレクトロニクスグレード高純度ガス供給

流路を通過するすべての部品はSS316L EPグレードのステンレス鋼製で、電解研磨された内面を備えています。配管は全自動トラック溶接プロセスを使用して製造されており、デッドコーナーがなく、粒子放出もありません。バルブはヘリウムリークテストを受け、リーク率は≤1×10⁻⁹ atm・cc/sであり、シランガス純度がプロセス全体で損なわれないことを保証し、高精度製造プロセスの要件を満たします。

床置き設計による優れた適応性

床置きブラケット設計は、より高い耐荷重能力を提供し、壁掛け設置の必要性を排除します。クリーンルーム周辺や特殊ガス廊下に沿った場所など、さまざまな環境に柔軟に配置でき、壁掛けVMBと比較して複雑な生産ラインレイアウトにより適応できます。

                                                                                                                                                                                                        VMB内部バルブ / ダイヤフラムバルブ / 圧力計

03 コアアプリケーションシナリオ

半導体ウェハー製造

ウェハー製造ラインのPECVD、LPCVD、ALDなどの薄膜堆積プロセスと互換性があり、本システムは複数のコーティング装置にシランガスを正確に分配し、窒化ケイ素および酸化ケイ素膜堆積のプロセス安定性を確保します。また、クリーンルームでの高リスクガスに対する安全制御要件を満たしており、ウェハーファブにおける特殊ガスの二次分配の標準構成となっています。

太陽電池製造

TOPCon、HJT、ヘテロ接合などの高効率セル製造ラインで広く使用されており、本システムはシリコンベースの薄膜堆積およびドーピングプロセス中に複数の機械にシランガスを分配できます。高容量太陽光発電製造ラインの連続ガス供給需要を満たすと同時に、ラインの改造や拡張に柔軟性を提供し、コスト削減と効率向上に貢献します。

                                                                         - VMB -

次世代ディスプレイおよびオプトエレクトロニクス製造

TFT-LCD、AMOLED、Mini/Micro LEDディスプレイパネル製造ライン、および光ファイバープリフォームや化合物半導体などの分野に対応し、高世代製造ラインの大規模・多機械ガス供給レイアウトに合わせて、薄膜堆積およびエッチングプロセス向けの安定した制御可能なシラン供給とデリバリーを提供します。

研究機関および試験ラボ

大学の研究所や研究機関における材料研究開発およびプロセス検証プラットフォーム向けの小規模シラン分配ソリューションを提供し、運用上の安全性とガス供給の精度を両立させ、小バッチ・多条件の実験ガスアプリケーションのニーズに対応します。

の利点 テクノロジーのVMBおよび特殊ガスキャビネットショーケーステクノロジーの製品とサービス

1. 自社R&Dおよび製造、優れたカスタマイズ能力

国家レベルのハイテク企業であり、「専門的、洗練された、独特、革新的な」企業であるWofly Technologyは、独立したR&Dおよび製造能力を有しています。同社は、クラス100およびクラス1,000のクリーンルーム組立ワークショップを備えた、8,000平方メートルの自社生産拠点を設立しました。ソリューション設計、バルブアセンブリからテスト、出荷まで、VMB製品シリーズ全体の製造プロセスはすべて社内で行われます。製品は、ガス出口数、圧力パラメータ、制御モード、設置シナリオに関する特定の顧客要件を満たすように完全にカスタマイズでき、さまざまな産業およびさまざまな規模の生産ラインのニーズに対応します。

                              シラン専用VMBの内部ビュー

2. 完全な資格と保証されたコンプライアンス

同社は、建築機械および電気設備プロジェクトの専門請負資格、圧力配管の設計および設置に関するGC2資格、および労働安全許可を保有しています。当社の製品は、CEおよびISO 9001を含む複数の認証を取得しています。設計および製造は、GB 50646などの特殊ガスエンジニアリングに関する国家基準に厳密に準拠しています。すべての機器は、工場出荷前に包括的なヘリウムリークテストおよび機能テストを受け、納品時に準拠した運用が可能な状態であることを保証します。

                                WoflyテクノロジーのVMBおよび特殊ガスキャビネットショーケース3. 業界チェーン全体にわたるワンストップサービス

Wofly Technologyは、個々の機器の供給にとどまらず、特殊ガスステーションの計画、主配管の設置、VMB分配ノードのレイアウトからエンドポイントの二次配管に至るまで、プロセス全体をカバーする包括的なワンストップソリューションを提供します。このソリューションは、技術コンサルティング、システム設計、プレハブおよび設置、テストおよび受け入れ、運用およびメンテナンストレーニングを含むライフサイクル全体を網羅しています。顧客は複数のサプライヤーと調整する必要がなく、プロジェクトのコミュニケーションおよび管理コストを大幅に削減できます。

                                                                                                               シラン専用VMBの内部ビュー

4. 10年以上の業界専門知識と豊富な実装経験

エレクトロニクス産業向けの特殊ガス分野における10年以上の深い専門知識を持ち、当社のサービスは半導体、太陽光発電、バイオ医薬品、研究機関など複数のセクターに及びます。数百件の特殊ガスシステムエンジニアリングプロジェクトを成功裏に実施してきました。当社のコアチームは、高リスク特殊ガスシステムの設計および建設において豊富な経験を持っており、顧客のニーズに迅速に対応し、実際の運用条件に合わせた最適なソリューションを提供できます。

Wofly

テクノロジーのVMBおよび特殊ガスキャビネットショーケース電子特殊ガスシステムの「エンドポイントハブ」として、シラン専用VMBは、生産ラインへの安全で安定した高純度ガス供給を確保するための重要なコンポーネントです。Wofly Technologyは、今後も技術を優先し、さまざまな高リスク特殊ガス運用条件に合わせて製品を継続的に最適化し、ハイエンド製造業界に、より信頼性の高いカスタマイズされた特殊ガスシステムソリューションを提供していきます。