Wofly Technologyは、ワンストップの特殊ガスシステムソリューションにより、材料の研究開発および生産チェーン全体のエンドツーエンドのコラボレーションをサポートします。

特殊ガスが基盤を築き、コアとチェーンが共に前進

2026年9月9日から11日まで、IICIE国際集積回路イノベーション博覧会が深圳世界展覧・会議センター（宝安）で開催されました。「産業横断的統合・全チェーン協働：独自のチップエコシステムの共同構築」をテーマに、チップ設計、ウェハー製造、パッケージング・テスト、コア機器、主要材料を含むサプライチェーン全体を網羅しました。半導体材料は産業チェーンの上流部分を占めます。電子特殊ガス、フォトレジスト、スパッタリングターゲット、CMP材料は、デバイスの歩留まりとプロセスノードを直接決定します。それらの純度、安定性、供給の安全性は、先端プロセスのブレークスルーの前提条件です。

2026 IICIE 国際集積回路イノベーション博覧会

今年のIICIEは、IDM、ファブレス企業、ウェハーファウンドリ、OSAT、半導体機器・材料メーカーが集結します。60,000平方メートルを超える展示面積で、チップ設計、ウェハー製造、先端パッケージング・テスト、コア機器、主要材料・部品を網羅するエンドツーエンドの製品ソリューションが展示されます。CIOE中国国際光電子博覧会と同時開催される本イベントは、「光電子＋半導体」のスーパー展示エコシステムを創出し、人工知能、車載エレクトロニクス、通信・コンピューティング、ディスプレイ、新エネルギーなどの下流応用分野からのプロフェッショナルな来場者を引きつけ、ネットワーキングやビジネスチャンスの探求を促進します。外部技術環境の変化と国内代替の需要という二重の背景のもと、IICIEは、技術検証、サプライチェーンのマッチングからアプリケーション実装まで、国内製造の半導体材料、機器、部品のためのワンストッププラットフォームを提供します。上流材料企業、中流メーカー、下流エンドユーザー間の深い協力を促進することで、国内集積回路産業チェーンとサプライチェーンの安定化、および主要材料の量産検証とエコシステム成熟の加速において、画期的な役割を果たします。

1. 特殊ガス輸送：Woflyがリード

半導体材料の研究開発

材料の研究開発と量産において、エレクトロニクス産業で使用されるシラン（SiH₄）、ホスフィン（PH₃）、アルシン（AsH₃）、アンモニア（NH₃）、三フッ化窒素（NF₃）などの特殊ガスは、毒性が高く、引火性があり、腐食性が非常に高いです。これらは、専用のガス供給システムを通じて、ガス源からプロセスエンドまで、安全に、継続的に、高純度で供給される必要があります。国家ハイテク企業であるShenzhen Wofly Technologyは、ガス応用システムエンジニアリングのワンストップソリューションプロバイダーとして、半導体材料製造分野に専門的なサービスと高品質な機器を提供しています。

2. 設計と納入：シームレスなワンストッププロセス

特殊ガス伝送パイプラインシステム

技術コンサルティング、システム設計

プロセスガスリスト、ガス消費ポイント負荷、安全ゾーンからパイプラインのトポロジーまで、WoFei Technologyは包括的な計画とシステム設計を提供し、PID図、部品表、およびバルクガス、電子特殊ガス、高純度化学物質を含むマルチメディアシステム用のクリーンルーム建設仕様を提供します。

バルクガス配管

特殊ガスキャビネットアセンブリ—自動切り替え

当社が独自に開発した全自動特殊ガスキャビネットは、PLCを制御コアとし、タッチスクリーンHMIを備え、2本のシリンダー間の自動切り替え、圧力監視、漏洩警報、緊急遮断を可能にします。シラン（SiH₄）やホスフィン（PH₃）などの引火性、爆発性、高毒性ガスの密閉輸送用に設計されています。

Wofly Technology製特殊ガスキャビネット

バルブとフィッティング：高純度制御

WR1200シリーズ減圧弁やMV4/MVH4シリーズダイヤフラム弁などの高純度制御コンポーネントを備え、バルブ本体は316Lステンレス鋼製で、内面は電解研磨されています。VCRフィッティングやフェルールフィッティングと組み合わせることで、これらのコンポーネントは、プロセス要件を満たすために、粒子レベルと金属溶出を最小限に抑えます。

Wofly Technology バルブおよびフィッティング

パイププレハブ、二次配管

現場配管は、クリーンなプレハブワークショップで切断、自動溶接、パージされ、その後、レールマウント溶接を使用してプロセス機器インターフェースに再配管されます。配管溶接のトレーサビリティ記録は検証可能であり、ガス純度と粒子状物質制御に関するSEMI規格を満たしています。

Wofly Technologyのクラス1,000クリーンルーム

排ガス処理：オンサイト精製

プロセス排ガス中で完全に反応しなかったSiH₄、PH₃、AsH₃などの成分に対処するため、ローカルスクラバー排ガス処理システムが設置されています。このシステムは、燃焼、スクラビング、または吸着を使用して、排出基準を満たすレベルまで有害成分を分解し、人員と環境の安全を確保します。

排ガス処理装置

ガス混合、バルブ分配

半導体材料の研究開発向けに、ガスミキサーとバルブマニホールド（VMB）を提供しています。ミキサーは、プロセスレシピに従って、N₂、Ar、H₂などのキャリアガスと反応ガスを精密に混合します。バルブマニホールドは、二次配管セクションの複数のガス出口の独立した制御、圧力監視、緊急遮断を可能にします。

VMBバルブボックスパネルディスプレイ

設置と試運転；システムテスト

現場設置完了後、WoFei Technologyはヘリウムリークテスト、粒子径テスト、水分・酸素含有量分析、パージ・交換を実施し、システム検査報告書を発行し、ターンキー引き渡しを完了し、フォローアップの運用・保守サポートを提供しました。

3. 手を取り合って、共に未来を築く

Wofly Technology

半導体材料産業における競争は、最終的には、すべてのガス供給、すべてのパイプライン、すべてのバルブ操作の信頼性にかかっています。「全チェーン協働」は単なる展示会のテーマではなく、上流材料メーカー、中流機器サプライヤー、下流エンジニアリングサービスプロバイダーが、標準、インターフェース、プロセス要件について継続的に連携する必要があります。Shenzhen WoFei Technologyは、ガス応用システムエンジニアリングに引き続き注力していきます。システム設計、コア機器、現場設置、テスト、試運転、保守におけるワンストップ機能を活用し、半導体材料の研究開発と量産のために、安全で安定したトレーサブルなガス供給基盤を提供し、産業チェーンのすべての関係者と協力して、独自の半導体エコシステムを共同で構築していきます。