Wofly テクノロジーは,実験室のガス管管システムにおける品質と安全性を保証します

実験室用ガス管路システムの強化

品質と安全保証

概要

実験室のガス管路システムは 科学研究,試験,精密製造のためのインフラストラクチャの不可欠な部分です水素 (H2) を含め,これらのシステムを通過するガスの流れ安定性酸素 (O2),窒素 (N2),アルゴン (Ar),ヘリウム (He),アンモニア (NH3),シラン (SiH4) は,実験データの再現性と装置の安全な操作に直接影響します.

                          実験室用ガス配送パイプ (参照のみ)

実験室ガス の 分類 と 危険 性

実験室ガス は,その化学的性質に基づいて4つのカテゴリーに分類され,各カテゴリーには,パイプ材料と安全注意事項に関する特定の要件があります.

• 惰性ガス (N2,Ar,He):これらのガスは化学的に安定しており,浄化,保護ガス,輸送ガスとして使用されます.高濃度は窒息を引き起こす可能性があります.十分な換気が必要です.
• 酸化ガス (O2,圧縮空気): このガス は 酸化 作用 を 持つ もの で,管路 は 油 が 含ま ない もの で,密封 器 は 炎 を 阻害 する 材料 で でき て い なけれ ば なり ませ ん.
• 燃やす気体 (H2,SiH4):H2は爆発性制限が4%~75%である.SiH4は自燃性がある.専用のシリンダーキャビネットと排気ガス処理装置が必要です.
• 腐食性ガス (NH3,Cl2): 管材に腐食性があり,腐食耐性合金を使用し,ガス検出および警報システムを設置する必要があります.

ガス管道システムにおける主な安全リスク

ガスの漏れは,バルブパッキング,VCRフィッティング,溶接器,フレンズで最も頻繁に発生します.炎症性のガスは爆発性濃度まで蓄積することができます.毒ガスが従業員の安全を直接脅かす.

純度汚染は,管路の内壁に粒子,湿度,金属イオンが降り,装置の出力低下と基線漂流につながる.高純度パイプには,内部表面の粗さ (Ra) が ≤0である必要がある..4 μm

圧力異常には,減圧弁の故障やパイプラインの詰め込みによる過圧や,ガス源の切り替えによる圧力変動が含まれます.これらはすべて機器の安全性と実験安定性に影響を与える.

腐食性ガスのある環境では材料の腐食が一般的です. 316Lステンレス鋼はNH3などのアルカリガスに耐性があります.強い酸化ガスであるCl2は,ハステロイやモネル合金を使用する必要があります..

                  EPグレードのステンレス鋼ガスパイプ (参照のみ)

実験室用ガス管の品質要件

• 材料選択:高純度ガスでは,粒子の吸収とガス排出を減らすために316Lステンレス鋼電解管 (EP) を使用する.一般用ガスでは,304型ステンレス鋼のシームレス管を使用することができる..
• 結合プロセス:高純度システムでは,完全に自動化されたレール誘導型ウォルフスタン惰性ガス (GTAW) 溶接を使用.取り外せる接頭は,流出速度は ≤1×10−9 Pa·m3/sのVCR金属対金属密封機を使用します.
• 検査と承認:水静止試験 (設計圧力1.5倍),気圧試験 (設計圧力1.15倍),ヘリウム質量スペクトロメーターのリーク検出は,順番に行われます..
• 規格:国内および国際規格,例えばSEMI F20,GB 50177,GB 50029に準拠する.

Wofly Technologyのシステムソリューションとコアテクノロジー

シェンzhen Wofly Technology スペシャルガスエンジニアリングデザインショーケース (参照のみ)

エンジニアリングサービスシステム

シェンゼン・ウォー・フェイ・テクノロジーは ソリューションの設計から最終的な受領と配達まで 端から端までサービスを提供します各段階に明確な技術基準と品質管理点が設定されていること:

• ソリューション設計: 配置は,ガス種類,消費量,圧力評価,端末分布に基づいて決定されます. 炎症性の高いガス (H2,SiH4) に対して分離管路が使用されます.酸化ガスと燃やすガスの間には安全な距離が保たれている.腐食性ガス (NH3,Cl2) に対して耐腐食材料が選択されます.
• 材料選定:高純度システムに 316L EP管を使用.包装漏れを防ぐために弁弁と吹風弁が選択されます.圧縮弁は,入口圧と出口流量に基づいて選択されます..
• 製造・設置:パイプは惑星式パイプ切断機で切断され,完全に自動的なレール式溶接機で溶接され,パラメータはプロセス資格 (PQR) によって確認される.建設中管は酸化を防ぐためにアルゴンで浄化されます.
• 検査と承認: 圧力試験,漏れ検知,浄化,清浄,純度検証が完了し,検査報告書と製造済み文書が発行されます.

                      実験室設計概念 (参照のみ)

基本機器と主要部品

特殊ガスキャビネット (GC): 高圧ガスシリンダーを保管するために設計され,自動換気,漏れアラーム,低圧アラームが装備されています.キャビネットのドアは爆発防止です.換気システムが必要な空気交換速度を満たしている場合.

減圧バルブ (WR1200シリーズなど):シリンダー圧 (15~20 MPa) を動作圧 (0.1~0.8 MPa) に低下させる.これらのバルブには,2段階の減圧設計があり,圧力の調整精度は ±2%以上です.内部壁は電解剤で磨かれています

弁弁 (MV4/MVH4シリーズなど): 詰め箱なしの金属弁弁密封,漏れをゼロにします. MV4は一般高純度ガスに適しています.MVH4は高温や腐食性ガスのために設計されています両方のサイクル寿命は10万回以上です.

特殊ガス制御パネル (GSP): 圧力調節器,気圧計,弁弁,流量計を統合し,圧力と流量の集中調節と監視を可能にします.モジュール式設計により 維持と拡張が容易.

                      Wofly Technology オーダーメイドガスホルダー (参照のみ)

主要な技術特性

電気磨き管: 316Lステンレス鋼の内部表面は表面荒さ (Ra) が ≤0.4 μm である.クロム濃縮された消化層を形成し,粒子の吸収と金属イオン溶解を減少させる.

完全に自動化されたレール溶接: 溶接電流,回転速度,ワイヤフードレートのプログラム可能な制御は,均質で欠陥のない溶接を保証します. 各溶接に対してパラメータ記録が保持されます.完全な追跡を可能にする.

VCR金属対金属密封:密封は金属密封器のプラスチック変形によって達成され,漏れ速度は≤1×10−9 Pa·m3/sで,高純度および真空システムに適しています.

パイプ浄化と消化:高純度N2またはArは,粒子や湿度を除去するために高流量浄化に使用されます.酸素に敏感なシステムでは,安定したオキシドフィルムを形成するためにさらに消化が行われます..

品質と安全保証システムとサービス価値

                  Wofly Technology 製品テストショーケース (参照のみ)

多レベル試験・検証システム

試験用ガス管は,配送前に,各段階の明確な受容基準で,多段階試験を受けなければならない.

1圧力試験:水静止試験は設計圧の1.5倍で実施し,圧力は30分間漏れなく維持され,気圧試験は1倍で実施する.設計圧の15倍発泡剤を用いて,関節と溶接を検査し,専門的な安全計画を作成する必要があります.

2ヘリウム質量スペクトロメトリによる漏れ検出: 1×10−12 Pa·m3/s の感度を持つ標識ガスとしてHe を使用し,すべての溶接,バルブ,関節を個別に検査する.システム全体の漏れ率は ≤1×10−9 Pa·m3/sでなければならない.公式な報告を出す必要があります.

3浄化および純度検証:高純度N2またはArで浄化した後,露点 (≤70°C),酸素含量 (≤1ppm),粒子数を試験し,パイプの清潔性を確認します.

4機能試験: 減圧弁の圧力調節精度,開閉時の閥の密封性能,アラームシステムの応答時間を確認する.

標準の遵守とコンプライアンスの提供

このプロジェクトは,SEMI F20,SEMI S2,CGA G-4などの国際基準に準拠しています.1GB 50177,GB 50029,GB 50235,GB/T 20801,GB 50591,その他の国家標準および業界仕様を含む.配送書類には,製造済み設計図が含まれます.材料の品質証明書,溶接記録,圧力試験報告,ヘリウム漏れ試験報告,純度試験報告,運用および保守マニュアル,プロジェクトの追跡性を保証します.

                                           Wofly テクノロジーの認証

サービス価値と運用支援

1安全な操作: 複数のレベルの漏れ検知とアラームインターロックが,ガスシリンダーキャビネットの排気システム,ガス検出器,緊急シャットオフバルブと組み合わせて,3重の保護を提供します.漏れがあった場合システムでは自動でアラームを鳴らし ガスの供給を遮断します

2信頼性の高いデータ: 圧力調節器は ± 2% の内での安定性を維持し,浄化および消化後にガス純度が 99.9999% (6N) に達します.ガス品質の変動による実験誤差を最小限に抑える.

3. 操作と保守が簡単: モジュール式設計により,バルブとフィルターのオンライン交換が容易になります.パイプは明確にラベル付けされています.配達書類に推奨された保守スケジュールとスペアパーツのリストが付属します.

4柔軟な拡張: このシステムは,予約されたインターフェースと支線を含み,運用を中断することなく新しいガス出口を追加することができます.計画 は 将来 の 拡張 必要 を 考慮 し て 設計 さ れ て い ます実験室のガス管の品質と安全性は,設計と材料から設置と試験までのプロセスのすべての段階に依存します.深?? ウォーフェイ技術は,専門的なシステムソリューションを通じて,実験室のガスパイプラインの端から端まで品質と安全性を保証します厳格な設置基準と包括的な試験システムです

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