概要
第7回真空技術交流会議は、“真空コーティングと表面工学技術の革新”をテーマに、本日深センで正式に開幕しました。
“技術的障壁の打破と産業連携の促進”という核心的な原則に基づき、本会議では、原子層堆積（ALD）、化学気相成長（CVD）、DLC/Ta-C炭素系コーティングの3つの主要テーマに焦点を当てた交流セッションが開催されます。
学術界、産業界、研究機関の国際的な専門家、および主要企業の技術リーダーが一堂に会し、本会議では、主要技術の最新のブレークスルー、産業実装への道筋、および主要な業界課題について掘り下げていきます。 “技術交流、リソースマッチング、成果の転換”のための統合プラットフォームを確立し、真空技術が半導体、新エネルギー、先進材料などの重要な分野で深い統合と広範な応用を実現できるよう支援することを目指しています。
1. ALD/CVD “精密制御”がパズルを解く
ALD/CVDシステム用のバルブを選択するには、基本的な仕様を満たすだけでなく、プロセスの詳細に合わせる必要があります。 真空コーティングと表面工学における“許容範囲からプレミアムへ”へのブレークスルーは、ALD/CVDプロセスにおける“ミクロンレベルの精密制御”にかかっており、バルブの応答速度と特殊ガスシステムの安定性が、コーティングの均一性、純度、歩留まりを直接決定します。
真空コーティングプロセスにおいて、流体制御装置の性能は重要です。 当社の製品は、応答速度、リーク率、耐熱性に優れています。 PTFEシールを備えた316L EPグレードのステンレス鋼バルブボディを採用した装置は、リーク率が≤1×10⁻¹² Pa·m³/sを達成し、ALDプロセスの要件を満たしています。 高温ALDコーティング用途向けに設計された当社のマルチオリフィスバルブは、高温に耐え、パージ効率を最適化して、コーティング品質に対する残留前駆体の影響を最小限に抑えます。
当社のバルブボディは、25%以上のクロム-ニッケル-モリブデン合金を含む耐食性バルブアセンブリで構成されています。 CVDプロセスは、腐食や漏れのない、継続的で長期的な動作を保証します。 流量制御に関しては、そのマルチバルブインターロック制御システムは、流量偏差を±0.2%以内に維持し、業界平均の精度基準である±0.3%を大幅に上回っています。 これにより、“流量変動によるコーティング厚さの偏差”という業界の課題を効果的に解決します。
特殊ガス配管の“清浄度、安定性、トレーサビリティ”は、真空コーティングプロセスの目に見えない安全装置として機能します。
配管の清浄度
配管内壁の清浄度は厳密に管理する必要があります。 このため、当社は、“洗浄、溶接、パージ、検査”を含む包括的な清浄度管理システムを確立しました。 “超音波洗浄+高純度窒素パージ+不動態化処理”を組み合わせたプロセスを採用することにより、配管内壁のRa値は一貫して0.35μmを達成しています。
圧力定格に応じた正確なマッチング
配管圧力は、さまざまな真空コーティングシナリオ（ALDは通常10⁻³〜10⁻⁵ Paの範囲、CVDは一般的に0.1〜0.5 MPaで動作）で大きく異なるため、圧力定格に対応する接続方法が必要となります。
· 低圧（≤0.3 MPa）：ダブルフェルール接続
· 高圧（≥0.5 MPa）：自動TIG溶接
· 超高真空（≤1e-4 Pa）：金属シールフランジ
圧力動的平衡
ALDプロセスにおけるパルスガス供給は、配管圧力の変動を引き起こします。 変動が±0.02 MPaを超えると、前駆体濃度の安定性が損なわれます。 上流の圧力調整器を調整することにより、入口圧力の変動を±0.005 MPaに制御しました。 ±0.1% FSの精度を持つ高精度圧力センサーからのリアルタイムフィードバック制御と組み合わせることで、最終的に配管圧力の変動を≤±0.003 MPaに達成し、一貫したALDパルスジェット濃度を確保しました。
特殊ガス装置は、“独立した操作”から“プロセスとの深い統合”に移行する必要があります。
CVDプロセスでは、通常、固定比率で2〜4種類のガスを混合する必要があります。 したがって、当社は、±0.05% FSの測定精度を持つ国際的にリードする高精度マスフローコントローラー（MFC）を採用し、流体流量制御における卓越した安定性と信頼性を確保しています。 当社独自の混合アルゴリズムを搭載したこれらのコントローラーは、ガス温度と圧力の変動が流量パラメータに及ぼす影響を継続的に監視し、補正します。
CVDプロセスで生成された排ガスは、排出基準を満たす必要があります。 当社は、統合された排ガス処理システムを採用しています。
乾燥吸着段階：高度に選択的な特殊吸着剤を装備し、この多段吸着システムは、≥99.9%の超高吸着効率を達成します。 焼却段階：分解が困難な複雑な有機化合物の場合、高温熱分解環境が作成されます。 乱流燃焼促進技術と組み合わせることで、≥99.99%の深い分解率を達成し、有機汚染物質のリスクを完全に排除します。
統合された“特殊ガスキャビネット+配管+装置”システム
インターフェースポイントを最小限に抑え、リークのリスクを低減するために、当社は統合ソリューションを提供しています。 特殊ガスキャビネットの設計（精製、分配、安全制御を含む）から、配管溶接、排ガス処理装置の統合まで、プロセス全体が1つのチームによって専門的に実行されます。
業界技術を推進するための橋渡しとしての協会の活用
“真空コーティングと表面工学技術の革新”に関するこの会議は、業界全体の技術交流のプラットフォームとして機能するだけでなく、業界とのつながりを深め、“技術主導の製造”を推進するというWofei Technologyのコミットメントを例証しています。
今後も、真空技術産業協会を橋渡しとして活用し、ALD/CVDなどのコアプロセスにおける流体制御要件に焦点を当てていきます。 より多くの技術革新の実現を推進し、真空コーティングと表面工学技術を、より高い精度と安全性という新たな時代へと導くことを目指します！
