半導体産業の急成長により,その支援プロジェクトに対する要求は高まりました.特殊ガス供給は効果的なシステムを形成していません.混ざったシリンダーの問題も混沌とした管理と不調和ガスの混合がより深刻で,ガス消費の安全に大きく影響します.本日,深?? ウォーフェイ技術会社のスタッフが:
特殊ガス排気ガス処理
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特殊ガス排気ガスの状況
特殊ガスシステムの派生物として必然的に存在します. 過去に,多くの大学や大学では,実験室のガス消費量が大きいので,建設施設の所有者は排気ガス排出問題について完全に認識していない発熱ガス排出量,さらに多くの半導体工場が生まれているため,多くのユーザーに問題になっています..
特殊ガスシステムの排気ガス排出量処理装置の処理方法:
排気ガス処理装置のタイプは,処理される排気ガス内の特殊ガス特性の基準で選択すべきである.尾気ガス処理装置を別々に設定する必要があります."
排気ガス処理装置は,GR,GC,その他の特殊ガス設備の近くに置くべきである.
特殊ガスの排気ガス処理方法は,乾燥処理吸着,湿洗浄,加熱分解処理,燃焼処理,プラズマ分解処理を採用しなければならない.稀释処理と上記の方法の組み合わせ.
