半導体工業は高純度のガスのための要求がそれに応じて増加することを毎年育ち続ける従って意味する巨大で全体的な企業である。
高純度のガスの信頼できる供給をスマートな電話および自律性乗物のような先端技術の半導体の製造業のために必要、特にである持っていることは。
集積回路をガス1つのあらゆる企業で広く利用されたのの使用される範囲を作る作り出すプロセスは非常に複雑であり、30以上のガスの段階をまったく要求する。
ガスは半導体の電気特徴を形づけることを必要な化学反応を作り出すことができるので、半導体の製造業の重要な部分である。複雑さが原因で、製造工程の各段階で使用されるガスは正しく半導体を形成するために正確、正確である必要がある。
半導体工業の連続的な開発によって、プロセスで使用されるガスはまた成長している。使用される中心のガスの一部は窒素、酸素、アルゴンおよび水素を含んでいる。私達は詳細な製造工程に於いての彼らの役割を論議する。
窒素
供給およびinertnessの窒素が原因半導体の製造工程の各ステップで使用される中心のガスはであるが主な用途は清浄になる段階にある。この段階では、窒素がプロセスを汚染するかもしれない他のガスからそれらを保護するために機械および用具の酸素を取除くように各チャネルおよび管ネットワークを洗い流すのに使用されている。
さらに、ほとんどの半導体の工場は全プロセスの窒素の大きい使用による場所の窒素の発電機が装備されている。需要が高いのに会うことを試みている間もっと重大に、ハイテクなsmartphonesおよび他の技術の生産と、要された低速を保つことは命令的である。
窒素があらゆる潜在的な湿気からの用具、スペースおよび管、化学汚染物および粒子保つと言うことができる。場所に発電機をなぜ取付けるか当然ある、端へのプロセス中最初から使用されるのは必要なガスである。
酸素
知っているように、酸素はオキシダントである、従って沈殿反作用を作り出すことは必要である。拡散のマスクのようなプロセスのさまざまな要素のためのケイ素酸化物の層を、育てることを使用する。
酸素が半導体の製造業のために使用されるとき、ガスはどの不純物でも装置の生産そして性能に影響を与えることを防ぐべき超高度純度でなければならない。
エッチング プロセスの間に付加的で物質的な無駄を取除くのに、また酸素が発生した使用されている。またそれがエッチング パターン パーマを作るのに使用することができる。
最後に、酸素はまた製品品質を変えるかもしれない酸化反作用によって反応ガスの中和を助ける。従って、窒素のように、酸素はまた汚染が起こらないことの保障を助ける。
アルゴン
沈殿のためにアルゴンが主に紫外石版印刷レーザーでエッチング プロセス使用され、半導体の破片で最も小さいパターンを作るのに使用されている。
必須のシリコンの薄片の製造業の間に高温成長プロセスの間にウエファーで保護するのに、アルゴンのガスが形作られる酸素および窒素とのあらゆる潜在的な反作用からケイ素の水晶を使用されている。
アルゴンはまた非常に不活性ガスであるので金属の放出させる沈殿に非反応環境を提供することを、使用する。時々金属の窒化物の形成をもたらす窒素の反応は余りに強い。
さらに最も小さく、最も壊れやすい破片をきれいにするのに、用具によって液体のアルゴンが使用されている。
水素
半導体の製造業の水素の使用はより需要が高いが原因で増加するかもしれない。特に写真平版の段階で、化学錫と反応するのに水素が錫の水素化合物を作り出すために使用されている。錫の水素化合物はために高い光学要素で集まらないために要求される。
それは焼きなましプロセスによってケイ素およびケイ素のゲルマニウムのエピタキシアル沈殿とまた生地ごしらえのために沈殿プロセスで使用される。
水素が既存の薄膜を変更するために新しい酸化物の層を作成するのに使用されている。このプロセスは高圧および高温度の環境に起こる、従って流動度、温度および圧力の制御が非常に重要であることを意味する。
さらにこのプロセスで使用されるガスが非常に有毒であるので、分解の制御を助けるのに添加の段階でも水素が使用されている。それらが漏出を防ぐことができる装置で貯えられる必要があるそう多数。
Diboraneはまた添加プロセスで使用される化学薬品であるが熱不安定、原因でゆっくり分解する、従って水素はそれの安定を助けるように必要である。
日常生活の半導体
半導体はいろいろな種類の毎日装置、コンピュータ、smartphonesのテレビのようなとまた医療機器、軍用システムおよび他の多くの適用のような先端技術で、使用される。
それらは私達の日常生活の一部分であり、私達が毎日使用する装置にあるので私達はそれらに気づかない。半導体なしで、私達は多くの事をされない。半導体技術の開発によって、それらはより信頼でき、理性的、にそして密集するようになる。
コミュニケーションから、どんな半導体が私達のためにしたか交通機関および催し物は、これらのただの小さい部分である。それらは未来の技術および革新に動力を与え、私達が決して想像したあらないことは事をすることを私達が可能にする。