半導体製造に使用される様々な化学物質とガスは 生産のあらゆる段階において 継続的な供給のために 頑丈な流体システムを必要としていますこれらの流体システムは,半導体製造に必要な極端なプロセス条件に対応し,同時に清潔なしたがって,精密半導体製造プロセスでは,流体システムコンポーネントの選択が重要です.
高品質の流体システムコンポーネントを選択することは,製造効率の向上とシステムダウンタイムの削減を意味しています.半導体製造プロセスに関しては,流体システムコンポーネントの重要な役割とその信頼性の重要性を議論します.
半導体製造における流体系部品の重要性
半導体製造における流体システム構成要素には,制御された環境で化学物質流体を安全に輸送するための異なる化学混合,輸送,制御システムが含まれます.理想的な流体系は:
均一な化学混合
汚染対策
温度と圧力の制御
化学薬品の供給を継続する
半導体 流体 システム に は,最高 の 品質 の 部品 だけ が 理想 的 な 条件 を 提供 でき ます.このような 部品 を 使用 する の の 利点 に は 次 の よう です.
精度: バルブ,レギュレーター,ポンプなどのコンポーネントは,化学薬品の適切な割合が生産セルに供給されることを確保するために並行して動作します.精密な入力により流量変動の危険性がなくされる最終製品の質を向上させる.
流体システム構成要素は,プロセス流体と互換性のある材料組成で,汚染のリスクを軽減します.これらの流体システム構成要素の漏れのない設置は,粒子汚染物質を減らす生産量を向上させるための 清潔で制御された製造環境を提供します
半導体製造に使用されるガスと化学物質は,人間の健康に有害である可能性があります.漏れや漏れを防止するために設計された流体システム構成要素は,安全で制御された方法でこれらの流体を生産ユニットに供給することができます..
効率性: 高品質の流体システムコンポーネントの漏れのない構造と正確な制御により,稼働停止時間と頻繁な保守要件が最小限に抑えられ,生産目標を達成するための効率的な製造.
高品質の製造流体システム部品ソリューション
液体システム構成要素は,半導体製造の課題に対応するために高品質の装置を必要とします.
バルブ: 弁,バロー,針 の よう な 高性能 の バルブ は,製造 施設 で 流体 の 流れ を 理想 的 に 調節 し ます.耐久 性,耐久 性,耐久 性,耐久 性,耐久 性,耐久 性,耐久 性,耐久 性,耐久 性,耐久 性,耐久性,耐久性,耐久性,耐久性,耐久性,耐久性.高品質のバルブは,重要な半導体製造のための生産および処理プロセスの効率性を向上させるために必要な精度と制御を提供します..
フィッティング:チューブ・ホース・システムおよび他の重要な部品のための高純度フィッティングは,流体システム構成要素の安全性と純度を高めるため密閉された接続を提供します.
精密製造の要求のために,断熱ホースは熱管理に役立つので,生産室内のプロセス条件は最適に維持できます.わずかな気温変動でもチップが損傷し,生産廃棄物が発生するので,これは重要です.
柔軟管:条件が許容する場合は,柔軟管を使用することで,流体システム組成のフィッティングの数を減らすことができます. 管は,望ましい流体経路を得るために曲がります.フィッティングが少なくなるということは,振動や動きによる漏れや損傷のリスクが少なくなります.
調節器:調節器は,半導体製造プロセスの各段階において圧力を効果的に制御します. 恒定で正確な流れは,一貫性,流体化学薬品や特殊材料の無駄を避ける一方で高品質の収穫.
フィルター: 単一の粒子は半導体の性能に影響を与える.超高純度フィルターの使用は粒子の汚染をなくし,チップの損傷を最小限に抑える.
半導体製造における流体システム効率は,AFK-LOKの幅広い高品質のバルブ,フィッティング,調節器,ホース,フィルターで達成できます.