半導体産業におけるガスの使用は 1950 年代から 1960 年代まで遡ります半導体材料の純度と品質を保証するために,主にそれを清掃し保護するために使用されます.最も一般的に使用されるガスは,窒素と水素です.
半導体技術が発展し,製造プロセスが改善し続けると,ガスへの需要は増加しました.薄膜のエッチングや堆積などの重要なプロセスにおけるガスの使用が徐々に増加しましたSF6と酸素は,一般的に使用されるエッチングおよび堆積ガスになりました.1980年には,集積回路の開発と,それらの需要の増加により,ガスへの需要がさらに増加しました.水素は,水素焼焼や水素蒸気堆積を含む製造プロセスで広く使用されました.高純度ガスと特異ガスへの需要は半導体装置のサイズが減少し,新しいプロセスが導入されるにつれて増加しました例えば,極紫外線リトグラフィ (EUV) の適用には,窒素と水素などの非常に高純度ガスを使用する必要があります.
半導体ガスは,より多くの製品によって引き起こされる 関連製品の開発で増加し続けています. さらに,このガスも危険の源となっています.ガス減圧に使用される製品です圧力調節器,ガスバルブ,ガス圧力計,ガス漏れ検出器など,これらの製品が登場し,その役割は以下のとおりです.
圧力調節器: 圧力調節器とは,ガスの圧力を制御するために使用される装置である.通常は調節閥と圧力センサーで構成される.圧力調節器は高圧ガス入力を取り,特定のアプリケーション要件を満たすためにバルブを調整することによって出力ガスの圧力を安定させる圧力調節器は,工業,製造,実験室,半導体産業などで広く使用されています.ガス供給の安定性と安全性を確保する.
ガスのバルブ:ガス弁は,ガスの流れを制御し,ガス通路を閉じるために使用されます.通常,ガス流を開くまたは閉じるオン/オフ機能があります.様々なタイプのガス弁があります.手動バルブを含む電気弁や気圧弁は,ガスの流量,圧力,流量制御のためにガスシステムで広く使用されています.
ガス圧力計:ガス圧力計は,ガスの圧力レベルを測定するために使用されます.圧力変化をモニターし,安全値内に保たれるようにするために,通常ガスシステム内の重要な場所に設置されます.ガス圧力計は,工業,製造,実験室で広く使用されており,半導体産業も関与しています.
ガス漏れ検出器:ガス 漏れ 検出器 は,ガス システム の 漏れ を 検知 する ため に 用い られ ます.漏れ の 存在 を 検知 し,漏れ の 事故 を 防止 する ため に 及時 に 行動 する よう 警報 を 鳴らします.ガス漏れ検出器は,広く産業で使用されています半導体産業も関与している.